自动控制真空淀积的金属氧化物膜

本文介绍在自动控制蒸发速率条件下金属氧化物反应蒸发的研究和实验。文中详细地叙述了所得的若干研究结果。讨论了用蒸发法真空淀积金属氧化物的历史背景,以及近十年来有关膜厚控制的一些研究。