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| 光学面形检测仪 | |
| 作者姓名： | 苗静 |
| 摘 要： | <正>该仪器采用相移式横向剪切干涉技术,是一种数字波面测试技术.其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化,从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描,用CCD相机获取干涉场中各点的光强,利用图像中各点光强的变化关系,求出被测波面的位相信息或波面面形.由于横向剪切干涉技术是利用被测波面自身实现干涉的,不需 |
| 关 键 词： | 干涉技术 横向剪切 干涉条纹 光强 非球面度 检测仪器 剪切波 测试技术 非球面透镜 移式 |
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