| 倒岛膜凹槽电容式压力传感器设计与特性分析 |
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| 引用本文： | 肖丽仙,何永泰,彭跃红,刘晋豪. 倒岛膜凹槽电容式压力传感器设计与特性分析[J]. 电子元件与材料, 2014, 0(7) |
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| 作者姓名： | 肖丽仙 何永泰 彭跃红 刘晋豪 |
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| 作者单位： | 楚雄师范学院 物理与电子科学系,云南 楚雄,675000 |
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| 基金项目： | 国家自然基金资助项目(No.61271159)；云南省应用基础研究基金资助项目 |
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| 摘 要： | 结合岛膜结构电容式压力传感器高灵敏度和凹槽结构电容式压力传感器较好线性度的优点，设计了一种倒岛膜凹槽电容式压力传感器，并根据其结构特点建立了倒岛膜凹槽电容式压力传感器的理论模型，使用FEA（有限元分析）法分析了传感器的电容-压力特性。结果表明，设计的倒岛膜凹槽电容式压力传感器具有较好的测量特性，其测量灵敏度和线性度分别为0.00512 fF/Pa和0.98178。与相同设计参数的岛膜或凹槽电容式压力传感器相比，该传感器较好地缓解了测量灵敏度和线性度之间的矛盾问题。
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| 关 键 词： | 岛膜结构 凹槽结构 电容式压力传感器 有限元分析 灵敏度 线性度 |
Design and analysis of capacitive pressure sensor with the inverted island film-grooves |
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| XIAO Lixian,HE Yongtai,PENG Yuehong,LIU Jinhao. Design and analysis of capacitive pressure sensor with the inverted island film-grooves[J]. Electronic Components & Materials, 2014, 0(7) |
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| Authors: | XIAO Lixian HE Yongtai PENG Yuehong LIU Jinhao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | island film structure grooves structure capacitive pressure sensor finite element analysis(FEA) sensitivity linearity |
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