等离子体化学气相沉积反应中对温度因素的控制

采用了外加热式直流等离子体化学气相沉积及渗金属工艺并在放电工件上直接测温的方法，克服了离子轰击加热引起的温度不均匀等因素并且膜的结构及力学性能得以改善。