脉冲PCVD沉积TiN膜的若干特点

国内采用脉冲电源进行PCVD沉积TiN膜，尚米见报道。本文主要介绍脉冲PCVD沉积TiN膜的若干特点，并与直流PCVD作了比较。试验表明脉冲PCVD能降低TiN的沉积温度，细化晶粒，减小膜层中的氯含量，改善成膜质量，与直流PCVD相比，能进一步提高工模具寿命。