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| 可变矩形电子束曝光机真空系统的完善 | |
| 作者姓名： | 左云芝 彭永生 |
| 作者单位： | 中国科学院电工研究所(左云芝)，中国科学院电工研究所(彭永生) |
| 摘 要： | 本文论述了系统的真空度、清洁度对热阴极电子发射、电子光学系统性能的影响及污染物的来源。同时也介绍了为提高整个系统的真空度和清洁度而采取的措施‘及其实验结果。 |
| 关 键 词： | 电子束曝光机 真空系统 真空度 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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