集成微型压力传感器 |
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引用本文: | 李旭雯,张文栋.集成微型压力传感器[J].测试技术学报,1998,12(2):397-402. |
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作者姓名: | 李旭雯 张文栋 |
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摘 要: | 本文介绍了微型电子机械系统的发展,基本制作工艺及在传感器领域的应用。介绍了利用EMMS技术制造压力传感器的研究现状,重点描述了基于硅压阻效应的集成微型压力传感器及其封装技术。这种传感器通过P-N结电化学自停止腐蚀技术制作硅膜片,扩散电阻作为压电阻并形成桥路,且带有补偿电路。
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关 键 词: | MEMS 传感器 压力传感器 集成 微型 |
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