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| 微谐振型光纤传感器研究 | |
| 作者姓名： | 高金山 王家桢 |
| 作者单位： | [1]北方交通大学 [2]清华大学 |
| 摘 要： | 本文研究了一种由光束激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单昌硅制作 微型硅谐振器的制作 方法。在实验的基础上分析了谐振器在光激励下的振动机理，给出了测量压力参数的原理。 |
| 关 键 词： | 光纤传感器 硅微结构 谐振传感器 微谐振型 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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