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| 激光微细熔覆快速制造厚膜热敏传感器的研究 | |
| 引用本文： | 戴智刚,王少飞,李祥友,曾晓雁.激光微细熔覆快速制造厚膜热敏传感器的研究[J].中国激光,2007,34(s1):223-226. |
| 作者姓名： | 戴智刚 王少飞 李祥友 曾晓雁 |
| 作者单位： | 戴智刚:华中科技大学光电子科学与工程学院， 武汉光电国家实验室(筹)激光部，湖北 武汉 430074 王少飞:华中科技大学光电子科学与工程学院， 武汉光电国家实验室(筹)激光部，湖北 武汉 430074 李祥友:华中科技大学光电子科学与工程学院， 武汉光电国家实验室(筹)激光部，湖北 武汉 430074 曾晓雁:华中科技大学光电子科学与工程学院， 武汉光电国家实验室(筹)激光部，湖北 武汉 430074 |
| 基金项目： | 国家高技术发展研究计划“863” (2005AA311030)和国家自然科学基金(50575086)资助课题. |
| 摘 要： | 采用激光微细熔覆技术，利用钌系厚膜热敏电阻浆料，在质量分数为96％的Al2O3陶瓷基板上成功地制作出热敏电阻器。热敏电阻图形的极限线宽线距能达到60 μm。元件的电阻温度特性(TCR)值为2.33×10-3 /℃，热响应时间2.3 s,线性度达到0.6 ℃，有着良好的重复性、热稳定性和迟滞性。通过实验得出了激光处理工艺中参数对元件性能的影响规律。对所制作热敏电阻元件的各项电性能进行测量，并与传统工艺制作的元件进行了比较，测试结果证实新工艺制作的元件具有相对优良的特性，有较强的实用前景。 |
| 关 键 词： | 激光技术 厚膜电路 激光微细熔覆 热敏传感器 陶瓷基板 |
Direct Fabrication of Thick Film Thermo Sensor by Laser Micro-Cladding |
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| Abstract: | Thick film thermosensor is firstly fabricated on 96% Al2O3 ceramic substrate successfully by laser micro-cladding thick film paste. The sensors have excellent definition and narrow width (minimum 60 μm) with TCR 2.33×10-3 /℃, time answering time 2.3 s and linearity tolerance <1 ℃. The processing parameters that affects the fabricated sensor performance are studied. The performances about the sensors fabricated by the laser micro-cladding technique are characterized. The experimental results demonstrate that the thermosensors fabricated by laser micro-cladding have excellent performances, which are a little better than those fabricated by the traditional silk screen printing methods. |
| Keywords: | laser technique thick film circuit laser micro-cladding thermosensor ceramic substrate |