基于GMR效应的新型生物传感器研究 |
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引用本文: | 张超奇,周非,曲炳郡,任天令,刘理天.基于GMR效应的新型生物传感器研究[J].微纳电子技术,2007(8). |
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作者姓名: | 张超奇 周非 曲炳郡 任天令 刘理天 |
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作者单位: | 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 |
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摘 要: | 制备出了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta,磁阻变化达9.2%的GMR自旋阀传感器,并用该种传感器对浓度为200 μg/mL、直径2μm的生物免疫磁球溶液进行了检测.实验结果表明,该生物传感器可以对被测生物免疫磁球溶液产生平均350 μV的电压输出信号,随着磁球溶液的继续增加,电压输出信号可以达到最大值450 μV.除去背景干扰信号的影响,由磁球产生的有效电压输出信号为300 μV.此外,交流励磁场的频率的增加也会使输出电压信号减小.
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关 键 词: | 生物传感器 巨磁电阻 免疫磁球 |
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