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基于GMR效应的新型生物传感器研究
引用本文:张超奇,周非,曲炳郡,任天令,刘理天.基于GMR效应的新型生物传感器研究[J].微纳电子技术,2007(8).
作者姓名:张超奇  周非  曲炳郡  任天令  刘理天
作者单位:清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084 清华大学,微电子学研究所,北京,100084
摘    要:制备出了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta,磁阻变化达9.2%的GMR自旋阀传感器,并用该种传感器对浓度为200 μg/mL、直径2μm的生物免疫磁球溶液进行了检测.实验结果表明,该生物传感器可以对被测生物免疫磁球溶液产生平均350 μV的电压输出信号,随着磁球溶液的继续增加,电压输出信号可以达到最大值450 μV.除去背景干扰信号的影响,由磁球产生的有效电压输出信号为300 μV.此外,交流励磁场的频率的增加也会使输出电压信号减小.

关 键 词:生物传感器  巨磁电阻  免疫磁球
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