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SiC MOSFET高温可靠性评估失效机理研究
作者姓名:李寿全  张宇隆  黄以明  郑广州
作者单位:北京国家新能源汽车技术创新中心有限公司,北京 100029
摘    要:碳化硅(SiC)金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件具有耐高压、耐高温、开关频率高、导通电阻低等特性,但现有的封装材料、工艺在一定程度上限制了SiC MOSFET器件充分发挥其高温特性的优势.以国际主流厂商的SiC MOSFET器件为对象,进行极限高温可靠性评估.对试验后失效器件进行失效机理分析,提出导致...

关 键 词:金属-氧化物半导体场效应晶体管  碳化硅  失效机理
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