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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
考虑工件释放时间和柔性维护的单机调度问题
作者姓名:
李小林
司佳佳
尹传传
李玉鹏
作者单位:
中国矿业大学矿业工程学院
基金项目:
国家自然科学基金资助项目(71401164);;中国博士后科学基金资助项目(2018M642367)~~;
摘 要:
针对晶圆制造过程中考虑清洗维护的生产调度联合优化问题,以最小化最大完工时间为求解目标,优化工件加工顺序及维护活动执行时间。证明了该问题为NP难的,建立了问题的整数规划模型并进行线性化。结合机器役龄约束下的成批调度问题特征,证明了解的性质,并设计ERD-LPT-BFLD启发式算法对问题进行求解。构建了考虑工件释放时间及清洁活动约束的下界算法。通过不同规模算例仿真实验,将所提启发式算法与CPLEX及下界算法求解结果进行比较,验证了所提算法的有效性。
关 键 词:
单机调度
晶圆清洗
柔性维护
释放时间
启发式算法
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