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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
基于SH-SAW谐振器的无线温度传感器研究北大核心CSCD
作者姓名:
房赛
彭斌
杨云涛
何鹏
朱加良
作者单位:
1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室610054;2.中国核动力研究设计院610213;
摘 要:
基于128°YX铌酸锂压电衬底设计制作了窄带、高Q值的水平剪切声表面波(SH-SAW)谐振器,研究了其温度特性,并基于该谐振器制作了无线温度传感器。研究结果表明,该SH-SAW谐振器在常温至250℃内保持良好的谐振性能,频率温度系数为-24.33 kHz/℃。基于该SH-SAW的无线温度传感器在常温至250℃温度范围内实现了温度的准确无线测试,测温误差为0.93%,且具有良好的重复性。
关 键 词:
水平剪切声表面波
谐振器
铌酸锂
无线温度传感器
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