| 非导电样品荷电效应的吸收电流评价方法 |
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| 引用本文： | 吉元,张虹,史佳新,何焱,吕长志,徐学东,张隐奇,郭汉生.非导电样品荷电效应的吸收电流评价方法[J].电子显微学报,2004,23(3):265-268. |
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| 作者姓名： | 吉元 张虹 史佳新 何焱 吕长志 徐学东 张隐奇 郭汉生 |
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| 作者单位： | 北京工业大学,材料科学与工程学院,北京,100022;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022 |
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| 摘 要： | 在扫描电镜(SEM)中，通过记录和实时处理电子束辐照样品过程中产生的吸收电流Iα，评价非导电样品的荷电效应。对于非导电样品，Iα的绝对值很小，且变化幅度很大，这是电荷在非导电样品表面被捕获、积累和释放过程的直接反映。此外，Iα还可用来评价荷电补偿(改变环境压力、改变成像参数及对样品表面进行导电处理)的效果。
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| 关 键 词： | 扫描电镜(SEM) 荷电效应 吸收电流 非导电材料 |
| 文章编号： | 1000-6281(2004)03-0265-04 |
Evaluation of charging effect on the non-conductive specimens by absorbe current measurement |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | scanning electron microscope (SEM) charging effect absorbe current non-conductive material |
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