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| 不同掺锗浓度对多晶硅性能的影响 | |
| 引用本文： | 苏杰,黄美玲,钟根香,黄新明.不同掺锗浓度对多晶硅性能的影响[J].材料导报,2014,28(24):5-8. |
| 作者姓名： | 苏杰 黄美玲 钟根香 黄新明 |
| 作者单位： | 1. 南京工业大学材料学院,南京,210009 2. 东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港,222300 3. 东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港222300;西安交通大学能源与动力学院,西安710049 4. 南京工业大学材料学院,南京210009;东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港222300 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)，江苏省普通高校研究生科研创新计划 |
| 摘 要： | 研究不同的掺锗浓度对硼掺杂P型多晶硅铸锭性能的影响。实验结果表明:掺锗能够影响多晶硅铸锭中的位错密度、间隙氧浓度和硅片的机械强度。当掺锗浓度低于5×1019 at·cm-3时,位错密度和间隙氧浓度随着掺锗浓度的增加而降低,机械强度则随着掺锗浓度的增加而增强。当铸锭中掺锗浓度为5×1019 at·cm-3时,与不掺锗的硅片相比,掺锗硅片中位错密度平均降低约3%,间隙氧浓度平均降低约6%,机械强度平均提高约20%。但是,当掺锗浓度高于1×1020 at·cm-3时,掺锗对多晶硅铸锭性能的改善效果变差了,并对其性能产生不利的影响。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 锗 位错 氧 机械强度 |
Influence of Different Germanium Doping Concentration on the Performance of the Multi-crystalline Silicon |
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| SU Jie,HUANG Meiling,ZHONG Genxiang,HUANG Xinming.Influence of Different Germanium Doping Concentration on the Performance of the Multi-crystalline Silicon[J].Materials Review,2014,28(24):5-8. | |
| Authors: | SU Jie HUANG Meiling ZHONG Genxiang HUANG Xinming |
| Affiliation: | SU Jie;HUANG Meiling;ZHONG Genxiang;HUANG Xinming;School of Materials Science and Engineering,Nanjing Tech University;Donghai JA Solar Technology Co.,Ltd.;School of Energy and Power Engineering,Xi’an Jiaotong University; |
| Abstract: | |
| Keywords: | multi-crystalline silicon germanium dislocation oxygen mechanical strength |
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