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| 环境、环境影响与控制 | |
| 摘 要： | 0622598医用空气灭菌净化装置的灭菌净化效果实验检测刊,中]/谢森林//洁净与空调技术．—2006,(5)．—55-57 (G) 0622599重症监护病房环境控制依据与实施刊,中]/沈晋明//洁净与空调技术．—2006,(5)．—48-51(G) 0622600洁净室气态分子污染物的监测技术刊,中]/田世爱//洁净与空调技术．—2006,(5)．—12-17(G)随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术。参10 |
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