| 硅微陀螺机械热噪声研究 |
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| 引用本文： | 刘梅,周百令. 硅微陀螺机械热噪声研究[J]. 仪器仪表学报, 2006, 27(Z2): 1163-1164 |
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| 作者姓名： | 刘梅 周百令 |
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| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096 |
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| 摘 要： | 振动式硅微陀螺仪要在各种噪声干扰下,检测出极其微弱的有用信号.随着硅微陀螺性能的不断提高,机械热噪声对微陀螺的影响愈加显著,决定了振动式硅微陀螺的极限分辨率.本文给出了机械热噪声的产生机理,推导得出机械热噪声等效角速率表达式.分析表明,提高微陀螺的品质因数、增大质量和谐振频率可减小机械热噪声.
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| 关 键 词： | 振动式硅微陀螺 机械热噪声 |
Research on mechanical-thermal noise in micromachined gyroscopes |
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| Liu Mei,Zhou Bailing. Research on mechanical-thermal noise in micromachined gyroscopes[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2006, 27(Z2): 1163-1164 |
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| Authors: | Liu Mei Zhou Bailing |
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