| 应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化 |
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| 引用本文： | 李源,栗大超,胡小唐,赵大博,郭彤,陈津平. 应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 1512-1515 |
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| 作者姓名： | 李源 栗大超 胡小唐 赵大博 郭彤 陈津平 |
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| 作者单位： | 天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能的影响机理,并采用有限元方法对测头的测杆、中心连接体、梁等结构参数进行了仿真优化,获得了符合测头整体性能设计要求的参数及应力分布曲线.
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| 关 键 词： | MEMS 微接触式测头 纳米测量机 结构设计 优化 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1512-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
Structure Design and Optimization of MEMS Micro Tactile Probe for NMM |
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| LI Yuan,LI Da-chao,HU Xiao-tang,ZHAO Da-bo,GUO Tong,CHEN Jin-ping. Structure Design and Optimization of MEMS Micro Tactile Probe for NMM[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(5): 1512-1515 |
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| Authors: | LI Yuan LI Da-chao HU Xiao-tang ZHAO Da-bo GUO Tong CHEN Jin-ping |
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| Affiliation: | State Key L aboratory of Precision Measuring Technology and I nst ruments , Tianj in Universi t y , Tianj in 300072 , China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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