| 掺钛类金刚石膜的微观结构研究 |
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| 引用本文： | 林松盛,代明江,侯惠君,李洪武,朱霞高,林凯生. 掺钛类金刚石膜的微观结构研究[J]. 真空科学与技术学报, 2007, 27(5): 418-421 |
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| 作者姓名： | 林松盛 代明江 侯惠君 李洪武 朱霞高 林凯生 |
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| 作者单位： | 广州有色金属研究院材料表面工程研究所,广州,510651 |
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| 摘 要： | 采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石（Ti-DLC）膜层,利用俄歇电子谱（AES）、透射电镜（TEM）、X射线光电子能谱（XPS）及X射线衍射（XRD）等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明：制备的膜层成分深度分布与所设计的基体/Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC相吻合,在梯度过渡中不同膜层之间界面体现为渐变过程,结合非常良好;少量的Ti主要以纳米晶TiC的形式掺入到非晶DLC膜当中;所制备的膜层具有厚2.9μm、硬度高达25.77 GPa、膜/基结合力44 N-74 N。
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| 关 键 词： | 掺钛类金刚石膜 微观结构 离子源 非平衡磁控溅射 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）05-418-04 |
| 修稿时间： | 2006-11-13 |
Microstructures of Ti-Doped Diamond-like Carbon Films |
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| Lin Songsheng,Dai Mingjiang,Hou huijun,Li Hongwu,Zhu Xiagao,Lin Kaisheng. Microstructures of Ti-Doped Diamond-like Carbon Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2007, 27(5): 418-421 |
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| Authors: | Lin Songsheng Dai Mingjiang Hou huijun Li Hongwu Zhu Xiagao Lin Kaisheng |
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| Affiliation: | Guangzhou Research Institute of Non-Ferrous Metals, Guangzhou 510651, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ti-DLC Microstructure Ion source Unbalanced magnetron sputtering |
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