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| 一种PECVD设备中SiH_4及N_2的气体分析方案 | |
| 引用本文： | 潘阿伟.一种PECVD设备中SiH_4及N_2的气体分析方案[J].太阳能,2010(12). |
| 作者姓名： | 潘阿伟 |
| 摘 要： | 针对市场需求,在对数拟合的计算方法基础上,采用电化学分析,基于AduC812芯片,提出了一种应用于等离子体增强化学气相沉积法(PECVD沉积法)设备的双通道气体分析仪的理论基础。以便携式双路(SiH_4/N_2)气体分析仪——FXY02型气体分析仪为例,阐述了其系统架构、关键技术。该气体分析仪可满足各种气体分析的需求。 |
| 关 键 词： | 光伏设备 气体分析 对数拟合 电化学技术 计算机控制 |
Analysis of SiH4 and N2 in PECVD equipment |
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| Pan Awei.Analysis of SiH4 and N2 in PECVD equipment[J].Solar Energy,2010(12). | |
| Authors: | Pan Awei |
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