在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器 |
| |
引用本文: | Ikeda,K 孙海涛.在膜片上集成谐振应变仪三维微加工成硅压力传感器[J].工业仪表与自动化装置,1992(3):55-57,42. |
| |
作者姓名: | Ikeda K 孙海涛 |
| |
摘 要: | 引言谐振传感器利用了物理因素能够改变谐振频率的现象。谐振传感器与其它传感器相比具有优良的特性。例如高的重复性、分辨率和灵敏度。此外,谐振传感器因为它们输出频率而适于把信号传送到计算机。
|
关 键 词: | 谐振应变仪 硅压力 传感器 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|