| 电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用 |
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| 引用本文： | 汤儆,毛秉伟,田中群.电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用[J].微纳电子技术,2003(Z1). |
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| 作者姓名： | 汤儆 毛秉伟 田中群 |
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| 作者单位： | 固体表面物理化学重点实验室，固体表面物理化学重点实验室，固体表面物理化学重点实验室 化学系，福建厦门361005，化学系，福建厦门361005，化学系，福建厦门361005 |
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| 摘 要： | 概述了在固 /液界面微 /纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜 (EC SPM )技术 ,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜 (EC STM )、电化学原子力显微镜 (EC AFM )和扫描电化学显微镜 (SECM )在应用于微 /纳米加工时的基本原理和各种方法 ,并综合比较和分析了这三种技术的优缺点
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 扫描电化学显微镜 微/纳米加工 电化学 |
Micro-and nano-fabrication by EC-SPM |
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| TANG Jing,MAO Bing wei,TIAN Zhong qun.Micro-and nano-fabrication by EC-SPM[J].Micronanoelectronic Technology,2003(Z1). |
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| Authors: | TANG Jing MAO Bing wei TIAN Zhong qun |
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| Abstract: | Three main electrochemical scanning probe microscopy(EC SPM) techniques for micro and nano fabrication are reviewed. The mechanism and different approaches of micro/nanofabrication about scanning tunneling microscope (STM), atomic force microscope (AFM) and scanning electrochemical microscope (SECM) are discussed in detail. The advantage and disadvantage of each technique are compared and analyzed. |
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| Keywords: | STM AFM SEM micro/nanofabrication electrochemistry |
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