光栅横向位移遥测传感器 |
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引用本文: | 杨鑫,郭尚旗,张国雄,蒋诚志.光栅横向位移遥测传感器[J].光学精密工程,1999,7(1):85-92. |
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作者姓名: | 杨鑫 郭尚旗 张国雄 蒋诚志 |
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作者单位: | |
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摘 要: | 介绍了一种光栅横向位移遥测传感器,被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量,采用差路结构。理论计算和实验表明,此系统测量范围大、信号质量好、分辨率和测量精度高,并具有很大的景深范围,可应用于具体生产环境中的位移遥测。
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关 键 词: | 光栅 多普勒效应 横向位移 测量 遥测 传感器 |
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