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扫描电声显微镜成像技术研究
引用本文:高椿明,张淑仪,张仲宁,水修基,方健文.扫描电声显微镜成像技术研究[J].电子显微学报,2003,22(6):643-644.
作者姓名:高椿明  张淑仪  张仲宁  水修基  方健文
作者单位:1. 南京大学近代声学国家重点实验室,江苏,南京,210093
2. 浙江师范大学物理系,浙江,金华,321004
摘    要:扫描电声显微镜(scannmg electron acoustic microscoPe)问世以来,作为一种新的显微成像手段,在众多的材料研究领域得到了广泛的应用,并日益显露其独特的成像本领。为此,我们对原建立的SEAM系统,通过增强电子束流强度和改善调制电路,使得系统的信噪比和空间分辨率大为提高。

关 键 词:扫描电声显微镜  成像技术  成像本领  SEAM系统  电子束流强度  调制电路  信噪比  空间分辨率

Study on imaging technology of scanning electron acoustic microscope
Abstract:
Keywords:
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