La0．67Sr0．33MnO3／La0．75MnO3／La0．67Sr0．33MnO3三层膜的制备及结构形貌和性能庞磁电阻

用磁控溅射法在(001)取向的LaAlO3单晶基片上制备了La0．67Sr0．33MnO3／La0．75MnO3／La0．67Sr0．33MnO3外延三层膜。结果表明，与La0．67Sr0．33MnO3单层膜相比较，外延三层膜的X射线衍射图上出现3级衍射峰，每级衍射峰由3个峰组成：其中强度最高的衍射峰代表衬底的衍射；次强的代表上下两层La0．67Sr0．33MnO3膜；最弱的代表中间La0．75MnO3层。三层膜的二维原子力表面形貌为均匀的小颗粒状。表明其三维形貌为外延岛状柱状晶。这种三层膜的巨磁电阻效应与中间层La0．75MnO3的厚度有关，当中间层厚度为70nm时，其最大磁电阻值可达到32％，这个结果优于La0．67Sr0．33MnO3单层膜的巨磁电阻效应。其可能的原因是电子在界面上的散射、层间的交互作用，以及点阵错配导致的内应力的综合结果。