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| 一种对微型元件行之有效的力学量检测方法 | |
| 作者姓名： | 陈锵 王琪民 单保祥 杨浩涌 |
| 作者单位： | 中国科技大学,合肥,230026;中国科技大学,合肥,230026;中国科技大学,合肥,230026;中国科技大学,合肥,230026 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目! (No .1 9672 0 62 ) |
| 摘 要： | 论述了对微型结构（微型触觉传感器敏感单元）的静态,动态加载方法和用光纤式麦克尔迩干涉仪对其力学参数（应变,固有频率,振型等）的检测方法,并与有限元计算做了对比,通过结果比较和误差分析,为微型触觉传感器敏感单元的优化设计和应用提供依据和支持。 |
| 关 键 词： | 微型机械 静态特性 动态特性 光纤 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |