| 压电驱动技术研究进展与展望 |
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| 引用本文： | 刘英想,邓杰,常庆兵,张仕静,陈维山.压电驱动技术研究进展与展望[J].振动．测试与诊断,2022,42(6):1045-1061. |
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| 作者姓名： | 刘英想 邓杰 常庆兵 张仕静 陈维山 |
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| 作者单位： | （哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室 哈尔滨，150001） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（52225501，5210051275） |
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| 摘 要： | 压电驱动具有结构简单、构型多样、力密度高、精度高、响应快、断电自锁、无电磁干扰以及环境适应性好等突出优势，在超精加工、半导体制造、机器人、精密仪器、生命科学、航空航天和武器装备等领域均具有迫切的应用需求，已成为高端装备向高精尖发展的一项核心技术。压电驱动技术可为高端装备的突破和发展提供坚实的基础，具有重要的科学意义和实用价值。首先，从高端装备发展对精密驱动技术的实际需求出发，系统阐述了压电驱动技术的定义、分类及特点；其次，介绍了压电驱动技术的研究现状，并对压电驱动技术的典型应用进行了概述和分析；最后，对压电驱动技术进行了讨论与展望。
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| 关 键 词： | 压电驱动技术 纳米级精密驱动 共振型压电驱动器 非共振型压电驱动器 超精密操控 |
Progress and Prospects in Piezoelectric Actuation Technologies |
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| LIU Yingxiang,DENG Jie,CHANG Qingbing,ZHANG Shijing,CHEN Weishan.Progress and Prospects in Piezoelectric Actuation Technologies[J].Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis,2022,42(6):1045-1061. |
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| Authors: | LIU Yingxiang DENG Jie CHANG Qingbing ZHANG Shijing CHEN Weishan |
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