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| MEMS惯性传感器在控制系统中的应用研究 | |
| 引用本文： | 李明. MEMS惯性传感器在控制系统中的应用研究[J]. 电子设计工程, 2013, 21(3) |
| 作者姓名： | 李明 |
| 作者单位： | 陕西工业职业技术学院 陕西西安712000 |
| 摘 要： | MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件,不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用.文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例,并解析了相应的原理,并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路. |
| 关 键 词： | MEMS传感器 运动补偿 精度要求 交叉灵敏度 |
Study on MEMS inertial sensors in control systems |
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| LI Ming. Study on MEMS inertial sensors in control systems[J]. Electronic Design Engineering, 2013, 21(3) | |
| Authors: | LI Ming |
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