| 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真 |
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| 引用本文： | 裴强,夏善红,龚超,白强,陈绍凤. 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真[J]. 微纳电子技术, 2003, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 裴强 夏善红 龚超 白强 陈绍凤 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080(裴强，夏善红，龚超，白强)，中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080(陈绍凤) |
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| 摘 要： | 报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 ,介绍了计算机模拟仿真结果
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微型 电场传感器 |
Design and simulation of a miniature electric field sensor based on MEMS technique |
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| PEI Qiang,XIA Shan hong,GONG Chao,BAI Qiang,CHEN Shao feng. Design and simulation of a miniature electric field sensor based on MEMS technique[J]. Micronanoelectronic Technology, 2003, 0(Z1) |
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| Authors: | PEI Qiang XIA Shan hong GONG Chao BAI Qiang CHEN Shao feng |
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| Abstract: | A new type miniature electric field sensor based on MEMS technique is introduced in this paper. This sensor has superior intrinsic properties, such as small volume, light quality , low power. Principium, fabrication project and simulation are systematically presented. |
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| Keywords: | MEMS miniature electric field sensor |
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