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激光化学技术在微电子学中的应用

作者姓名：	邓延倬王明胜盛蓉生

作者单位：	武汉大学化学系，武汉大学化学系，武汉大学化学系

摘要：	近年来,激光化学技术在微电子学领域已成功地应用于微电镀、多晶硅或金属的激光显微沉积、半导体的激光化学掺杂等方面,充分显示了激光化学技术的有利特点。
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