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(Ba0.5Sr0.5)TiO3/LaNiO3异质薄膜的介电调谐特性
引用本文:熊惠芳,唐新桂,蒋力立,陈王丽华. (Ba0.5Sr0.5)TiO3/LaNiO3异质薄膜的介电调谐特性[J]. 压电与声光, 2007, 29(1): 80-82,86
作者姓名:熊惠芳  唐新桂  蒋力立  陈王丽华
作者单位:1. 广东工业大学,物理与光电工程学院,广东广州,510090
2. 东工业大学,实验中心,广东广州,510090
3. 香港理工大学,应用物理系,香港
摘    要:用脉冲激光沉积工艺制备Ba0.5Sr0.5TiO3(简称BST)薄膜和Ba0.5Sr0.5TiO3/LaNiO3(简称BST/LNO)薄膜。在650℃原位退火10 min,获得了(100)和(110)择优取向生长的BST和BST/LNO薄膜,薄膜晶粒呈柱状结构,BST薄膜和BST/LNO异质结构薄膜的晶粒尺寸分别为150~200 nm和50~80 nm。在室温和1 MHz条件下,BST薄膜和BST/LNO异质结构薄膜的相对介电常数和介电调谐率分别达811和58.9%、986和60.1%;用LNO作底电极,可增益介电常数和介电调谐率。

关 键 词:脉冲激光沉积  钛酸锶钡薄膜  异质结构  介电调谐率  探测优值
文章编号:1004-2474(2006)07-0080-03
修稿时间:2005-08-29

Dielectric Tunability of(Ba0.5Sr0.5)TiO3/LaNiO3 Heterostructure Films
XIONG Hui-fang,TANG Xin-gui,JIANG Li-li,CHAN H L W.. Dielectric Tunability of(Ba0.5Sr0.5)TiO3/LaNiO3 Heterostructure Films[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2007, 29(1): 80-82,86
Authors:XIONG Hui-fang  TANG Xin-gui  JIANG Li-li  CHAN H L W.
Affiliation:1.School of Physics and Optoelectric Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510090, China; 2. The Center of Tester and Analyzer, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510090, China;3. Dept. of Applied Physics and Materials Research Centre, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong, China
Abstract:
Keywords:pulsed laser deposition  BST thin film  heterostructure  dielectric tunability  figure of merit
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