| 热丝CVD法生长纳米金刚石薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 张志明,莘海维,戴永兵,孙方宏,汪涛,沈荷生. 热丝CVD法生长纳米金刚石薄膜的研究[J]. 微细加工技术, 2003, 0(1): 27-33 |
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| 作者姓名： | 张志明 莘海维 戴永兵 孙方宏 汪涛 沈荷生 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微电子研究所,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613)，上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033)，上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目 |
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| 摘 要： | 系统地研究了热丝CVD法中反应气体压力对沉积产物金刚石薄膜的形貌和拉曼谱图的影响,提出了热丝CVD生长纳米金刚石薄膜的新工艺,并在50mm硅片上沉积得到高质量的多晶纳米金刚石薄膜。高分辨透射电镜分析表明,薄膜的晶粒尺寸约为10nm,〈111〉晶面间距为0.2086nm,与标准值0.2059nm很接近,晶粒周围由非晶结构包围。紫外激光拉曼光谱有尖锐的金刚石峰和明显的石墨峰。
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| 关 键 词： | 纳米金刚石 薄膜 热丝CVD |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)01-0027-07 |
| 修稿时间： | 2002-12-09 |
Synthesis of Nanocrystalline Diamond Films Deposited by Hot Filament CVD |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanocrystalline diamond film hot filament CVD |
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