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大规模集成电路与化学试剂
引用本文:叶汝裘,闻瑞梅.大规模集成电路与化学试剂[J].化学试剂,1981(5).
作者姓名:叶汝裘  闻瑞梅
作者单位:中国科学院半导体研究所 北京
摘    要:自晶体管问世以来半导体器件经历了分立元件、集成电路和大规模集成电路等几个发展阶段。制作半导体器件采用高纯单晶原材料并有控制地掺入适量的杂质元素,以使之具有需要的电学性能。将半导体元件,在晶片上按一定的图形排列连接起来,使之具有一定的电路功能便成为集成电路。集成电路不断发展,集成度不断提高。目前一个大规模集成电路的元件数已达十万个以上,全部元件都集成在仅几十平方毫米的单晶芯片上。

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