全液体静压支承结构磨削系统的磨削成圆规律及圆度极限预测

主轴轴颈的圆度直接影响液体静压主轴系统的回转精度，要制造纳米级回转精度的液体静压主轴系统，必须不断提高主轴零件轴颈的圆度。目前国内外高精密磨床可实现的轴颈磨削圆度范围在0.2～0.5μm，要想进一步提高轴颈磨削圆度，以上磨削方案已很难满足需要。基于此，系统研究头架主轴、尾架主轴和砂轮主轴均采用液体静压支承的全静压支承结构磨削系统的磨削成圆规律，探讨可能达到的圆度极限。首先建立计入头架主轴回转误差、尾架主轴回转误差、双顶尖不同轴误差、砂轮主轴回转误差和工件初始表面轮廓圆度误差的磨削系统耦合动力学模型；提出基于Newmark-β数值积分方法的“磨削力-瞬态磨削深度”循环迭代收敛算法，实现工件外圆轮廓形成过渡过程的定量仿真。研制全液体静压主轴支承结构磨削系统，通过磨削实验和磨削成圆仿真结论的对比，证实所建立模型和所提出算法的有效性。最后根据所提模型和仿真算法，研究各磨削系统误差对磨削圆度的影响规律，并在此基础上对可实现的磨削圆度极限进行了预测。