| 小型腔式微波离子源的研制 |
| |
| 引用本文： | 施立群 余增亮. 小型腔式微波离子源的研制[J]. 原子能科学技术, 1997, 31(3): 218-222 |
| |
| 作者姓名： | 施立群 余增亮 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| |
| 摘 要： | 研制了１种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源，它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度，选用了在内径７．０ｍｍ直管的一端加上一内径５．０ｍｍ衬管的放电管。在微波频率为２．４５ＧＨｚ，输入功率为９３Ｗ下，氮的引出流密度分别为４８．４ｍＡ／ｃｍ２和９１．７ｍＡ／ｃｍ２。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单，可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。
|
| 关 键 词： | 微波离子源 表面波放电 离子流密度 等离子体 |
INVESTIGATION ON A COMPACT CAVITY TYPE MICROWAVE ION SOURCE |
| |
| Shi Liqun Yu Zengliang Feng Huiyun Peng Shixiang Hu Chundong. INVESTIGATION ON A COMPACT CAVITY TYPE MICROWAVE ION SOURCE[J]. Atomic Energy Science and Technology, 1997, 31(3): 218-222 |
| |
| Authors: | Shi Liqun Yu Zengliang Feng Huiyun Peng Shixiang Hu Chundong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Microwave ion source Surface wave produced discharge Ion current density |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
