铁电薄膜导电过程与机理

铁电薄膜具有优良的铁电、压电、热释电、电光等物理性质，近几年随着铁电随机存贮器（ＦＥＲＡＭ）的研制，铁电薄膜的研究成为材料领域的研究新热点。本文综述了铁电薄膜的导电机理，并结合国内外研究者的最新报道及我们自己的实验结果，进行了分析和讨论。