| 激励功率对微机械谐振梁谐振频率的影响 |
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| 引用本文： | 樊尚春,汪彩霞.激励功率对微机械谐振梁谐振频率的影响[J].纳米技术与精密工程,2007,5(4):273-276. |
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| 作者姓名： | 樊尚春 汪彩霞 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;北京航空航天大学精密光机电一体化技术教育部重点实验室,北京,100083
2. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 对谐振式微机械传感器的敏感元件——微机械谐振梁的谐振频率特性进行了详细的实验研究，并从理论上分析了激励功率对谐振频率的影响．实验结果表明，谐振频率随着激励功率的增加而近似线性减小，当激励功率从1．1mW提高到10．1mW时，谐振梁的谐振频率降低了1．609kHz，灵敏度为0．179kHz／mW．实验结论与理论分析的结果基本一致．若要使激励功率对谐振频率的影响减小，则要求降低激励功率并减小梁的长度，增大梁的厚度和宽度．上述研究结论对优化谐振式微机械传感器敏感元件结构尺寸的设计有指导意义．
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| 关 键 词： | 谐振梁 激励功率 谐振频率 |
| 文章编号： | 1672-6030(2007)04-0273-04 |
| 修稿时间： | 2007年8月16日 |
Influence of Exciting Power on the Resonant Frequency of the Micromechanical Resonant Beam |
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| FAN Shang-chun,WANG Cai-xia.Influence of Exciting Power on the Resonant Frequency of the Micromechanical Resonant Beam[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2007,5(4):273-276. |
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| Authors: | FAN Shang-chun WANG Cai-xia |
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| Abstract: | |
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