| 用新型双对靶溅射仪制备的Fe/Ti多层膜的结构特征 |
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| 引用本文： | 刘明升,姜恩永,刘裕光,王忠杰. 用新型双对靶溅射仪制备的Fe/Ti多层膜的结构特征[J]. 真空科学与技术学报, 1994, 0(6) |
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| 作者姓名： | 刘明升 姜恩永 刘裕光 王忠杰 |
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| 作者单位： | 天津大学应用物理系薄膜研究室!天津，300072，天津大学应用物理系薄膜研究室!天津，300072，天津大学应用物理系薄膜研究室!天津，300072，神户大学理学部!日本神户 |
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| 摘 要： | 在原FTS-Ⅰ型对向靶溅射基础上，设计制作了DFTS－Ⅱ型双对靶溅射仪，它具有低温、高速、成分偏离小和连续均匀溅射的特性，能够同时或交替溅射不同材料。使用DFTS－Ⅱ制备的Fe／Ti多层膜具有良好的周期调制结构，层内结构是以Fe（110）bcc相为主的Febcc多晶和Ti（0002）hcp取向生长的，但在Fe／Ti多层膜Fe／Ti的界面存在扩散驰豫现象。
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| 关 键 词： | 双对靶 溅射 磁性多层膜 调制结构 |
STRUCTURAL PROPERTIES OF Fe/Ti MULTILAYERS PREPARED BY DUAL-FACING-TARGET SPUTTERING |
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| Liu Mingsheng, Jiang Enyong, Liu Yuguang. STRUCTURAL PROPERTIES OF Fe/Ti MULTILAYERS PREPARED BY DUAL-FACING-TARGET SPUTTERING[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1994, 0(6) |
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| Authors: | Liu Mingsheng Jiang Enyong Liu Yuguang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Dual-facing-target Sputter Magnetic multilayered films Medulated structure |
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