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多弧离子镀制备TiAlCN和TiAlN涂层的结构和摩擦磨损性能
引用本文:段佳妮,李文正,赵春蕾,赵远,董敏鹏,袁志威,李金龙. 多弧离子镀制备TiAlCN和TiAlN涂层的结构和摩擦磨损性能[J]. 表面技术, 2022, 51(4): 139-148. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.013
作者姓名:段佳妮  李文正  赵春蕾  赵远  董敏鹏  袁志威  李金龙
作者单位:中国科学院宁波材料技术与工程研究所 海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201;中国科学院大学 材料科学与光电研究中心,北京100049,中国科学院宁波材料技术与工程研究所 海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波 315201
基金项目:浙江省自然科学基金探索项目(LY20E010001);宁波市“科技创新2025”重大专项(2018B10019)
摘    要:目的 对比研究TiAlCN和TiAlN涂层的结构、塑韧性、结合力和摩擦磨损性能.方法 采用多弧离子镀技术制备了TiAlCN和TiAlN涂层.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)研究了涂层的微观形貌、元素和物相组成.通过纳米压痕、纳米划痕、划痕测试仪和摩擦磨损实验研究了涂层的硬度、...

关 键 词:离子镀  TiAlCN  TiAlN  结构  硬度  结合力  摩擦磨损
收稿时间:2021-05-06
修稿时间:2021-08-26

Structure and Tribological Property of TiAlCN and TiAlN Coatings Prepared by Multi-arc Ion Plating
DUAN Jia-ni,LI Wen-zheng,ZHAO Chun-lei,ZHAO Yuan,DONG Min-peng,YUAN Zhi-wei,LI Jin-long. Structure and Tribological Property of TiAlCN and TiAlN Coatings Prepared by Multi-arc Ion Plating[J]. Surface Technology, 2022, 51(4): 139-148. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.013
Authors:DUAN Jia-ni  LI Wen-zheng  ZHAO Chun-lei  ZHAO Yuan  DONG Min-peng  YUAN Zhi-wei  LI Jin-long
Affiliation:Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Zhejiang Ningbo 315201, China;Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
Abstract:
Keywords:ion plating   TiAlCN   TiAlN   structure   hardness   bonding ability   friction wear
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