| 熔石英表面离子束抛光去除函数稳定性研究 |
| |
| 引用本文： | 吴鹏飞,王春阳,李晓静,赵仕燕,王大森,聂凤明. 熔石英表面离子束抛光去除函数稳定性研究[J]. 表面技术, 2022, 51(4): 284-291. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.029 |
| |
| 作者姓名： | 吴鹏飞 王春阳 李晓静 赵仕燕 王大森 聂凤明 |
| |
| 作者单位： | 长春理工大学 电子信息工程学院,长春 130022,长春理工大学 电子信息工程学院,长春 130022;西安工业大学 兵器科学与技术学院, 西安 710021,中国兵器科学研究院宁波分院,浙江 宁波 315103 |
| |
| 基金项目： | 国家科技重大专项(2017ZX04022001-205-001);宁波市科技计划(202003N4345) |
| |
| 摘 要： | 目的 检验熔石英光学元件表面离子束抛光过程中去除函数的稳定性.方法 对离子束进行法拉第扫描来获取束流密度信息,构建离子束抛光去除函数模型.分析离子束流密度信息与去除函数模型,并通过实验研究束流密度信息与去除函数之间的关系,获得基于法拉第扫描结果计算去除函数的方法.利用该方法求取离子束抛光过程中的去除函数特征量,分析去除...
|
| 关 键 词： | 离子束抛光 法拉第杯检测 离子束流密度 去除函数 稳定性 |
| 收稿时间： | 2021-05-28 |
| 修稿时间： | 2021-09-30 |
Stability of Ion Beam Polishing Removal Function on Fused Silica Surface |
| |
| WU Peng-fei,WANG Chun-yang,LI Xiao-jing,ZHAO Shi-yan,WANG Da-sen,NIE Feng-ming. Stability of Ion Beam Polishing Removal Function on Fused Silica Surface[J]. Surface Technology, 2022, 51(4): 284-291. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.029 |
| |
| Authors: | WU Peng-fei WANG Chun-yang LI Xiao-jing ZHAO Shi-yan WANG Da-sen NIE Feng-ming |
| |
| Affiliation: | School of Electronic and Information Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China;School of Electronic and Information Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China;School of Defence Science and Technology, Xi''an Technological University, Xi''an 710021, China;Ningbo Branch of Chinese Academy of Ordnance Science, Zhejiang Ningbo 315103, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ion beam polishing Faraday Cup test ion beam current density removal function stability |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《表面技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《表面技术》下载全文 |
|
