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| 微波等离子体增强CVD实验装置建造与调试 | |
| 引用本文： | 关维恕,文允鉴,程仕清.微波等离子体增强CVD实验装置建造与调试[J].中国核科技报告,1995(Z2). |
| 作者姓名： | 关维恕 文允鉴 程仕清 |
| 作者单位： | 核工业西南物理研究院 成都 (关维恕，文允鉴)，核工业西南物理研究院 成都(程仕清) |
| 摘 要： | 建造了一台微波等离子体增强化学气相沉积实验装置,利用该装置实验研究了微波功率、工作气体种类、工作气压及磁场位形对等离子体特性影响。结果表明,在(10~(-1)～ |
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