用AES对冰晶石薄膜的分析与电子束对薄膜的破坏

本工作研究了冰晶石光学薄膜在2KeV电子束照射下AES的变化规律。在很低照射量下发现了一个文献未曾报道过的52.5eV的峰,并确定了它是Al(L_(23))F(L_(23))F(L_(23))′的原子间Auger跃迁。测量了一些谱峰高度随照射量的变化规律,发现可以用指数型关系外推至零照射最,从而可对薄膜作出定量AES分析。此外,还讨论了冰晶石薄膜在电子束照射下破坏较快的机理。