首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
台湾研制出新颖电子束光阻材料
摘 要:
电子束光刻(electron beam lithography)是一种以电子束为工具的纳米制作技术,它是利用电子束在光阻上绘制纳米级图案,再经后续显影步骤,即可轻易制作出线宽仅数纳米的高解析结构。其中,高分子聚甲基丙烯酸甲酯(poly(nlethyl methacrylate,PMMA)是一种很普遍的压克力材料,它被大量应用在电子束光阻的材料上,且己商业化。
关 键 词:
电子束光刻
光阻材料
聚甲基丙烯酸甲酯
台湾地区
制作技术
纳米级
解析结构
高分子
本文献已被
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号