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| 用于大规模集成电路的FLT-I型探针卡片 | |
| 作者姓名： | 李光宇 |
| 作者单位： | 国营四四三三厂 |
| 摘 要： | <正> 采用探针卡片(prober card)测试,是半导体器件测试的必由之路。特别对于大规模集成电路,当探针数目超过二、三十根时,传统的手动探针就很难对准,电信号的相互干扰也更加严重,其分布电容以及因接触不良所致感应电压,往往使测试失误。用FLT-I 型探针卡片取代手动探针,将会大大增强测试的可靠性。现将FLT-I 型探针卡片的主要技术指标介绍如下:一、FLT-I 型探针卡片可接46根探针,并有自动测试所用探边系统(profile sensor),以48线插座输 |
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