| S7-300PLC控制系统以及现场总线在PECVD中的研究 |
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| 引用本文： | 薛升奎,张动,熊亚丽. S7-300PLC控制系统以及现场总线在PECVD中的研究[J]. 自动化应用, 2010, 0(3) |
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| 作者姓名： | 薛升奎 张动 熊亚丽 |
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| 作者单位： | 云南天达光伏科技股份有限公司,昆明,650033 |
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| 摘 要： | 简述了S7-300PLC控制系统以及PROFIBUS-DP现场总线在制减反射膜及钝化设备中的研究.
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| 关 键 词： | 减反射膜 分布式I/O ET200M PROFIBUS-DP |
Study of S7-300PLC Control System and Field Bus Used in PECVD |
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| XUE Shen-kui,ZHANG Dong,XIONG Ya-li. Study of S7-300PLC Control System and Field Bus Used in PECVD[J]. Automation Application, 2010, 0(3) |
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| Authors: | XUE Shen-kui ZHANG Dong XIONG Ya-li |
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