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低阻TiO_2基三甲胺气体传感器性能分析
引用本文:黄萍,裴素华,孙海波,于连英,李秀琴.低阻TiO_2基三甲胺气体传感器性能分析[J].传感器与微系统,2005,24(6):7-8,11.
作者姓名:黄萍  裴素华  孙海波  于连英  李秀琴
作者单位:1. 山东师范大学,物理与电子科学学院,山东,济南,250014
2. 山东交通学院,基础教学部,山东,济南,250014
摘    要:按旁热式结构采用以TiO2为基质对InSb2O3Nb2O5氧化物不同的重量比去掺杂研制成的三甲胺(TMA)气体传感器,大幅度降低了加热功率和其在空气中的阻值,器件对响应TMA气体具有灵敏度高、响应时间快、恢复时间短、长期稳定等特点,对干扰气体NH3具有良好的选择性。

关 键 词:气体传感器  敏感元件  响应  灵敏度  三甲胺
文章编号:1000-9787(2005)06-0007-02

Analysis of performance for low resistance TiO2-based gas sensor to trimethylamine
HUANG Ping,PEI Su-hua,SUN Hai-bo,YU Lian-ying,LI Xiu-qin.Analysis of performance for low resistance TiO2-based gas sensor to trimethylamine[J].Transducer and Microsystem Technology,2005,24(6):7-8,11.
Authors:HUANG Ping  PEI Su-hua  SUN Hai-bo  YU Lian-ying  LI Xiu-qin
Abstract:TMA gas sensor is developed by TiO_2-based and different weight ratio of In-Sb_2O_3-Nb_2O_5 oxides doping with side-heating structure.It can greatly decrease the heating power and resistance in air,with the characteristic of high sensitivity,short response and recovery time,long-term stability for response TMA gas,and with perfect selectivity for the disturbance of NH_3.
Keywords:gas sensor  sensing element  response  sensitivity  TMA(trimethylamine)
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