电子致放气测试装置的研究

材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下，会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性，研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件，具有许多可调参数，这些参数会在一定程度上影响输出的电子束质量，进而影响电子致放气测试结果。文章首先通过实验测量了电子束斑和束流的影响因素，结果表明，聚焦电压和栅极电压对束斑的尺寸有直接的影响，而能量电压对电子束斑直径没有影响。此外，阴极电压、电子能量和栅极电压都可影响到发射电流，从而影响出射的电子束电流。为了验证装置的电子致放气测试能力，采用放气率很低的316 L不锈钢作为测试样品，比较测试其经过三次电子束轰击前后的放气特性。结果表明，经过除气的316 L不锈钢的电子致放气率可较明显地测定，且电子束轰击下放气的主要成分由N₂/CO变为H₂。