一种双工位NEG吸气性能测试装置设计

文章设计了可选择定压法或定容法测量非蒸散型吸气剂(NEG)吸气性能的测试装置，装置设计有两个结构对称的测试工位，可同时对两个测试样品进行预处理和性能测试，装置结构设计合理紧凑，测试效率高。测试装置可直接通过软件输出吸气速率和吸气量等性能参数。测试结果表明该装置本底真空度高，其中样品室真空度优于1×10^-7 Pa，漏放气速率小于3×10^-7 Pa·L/s；测试数据精度高且可靠，其中吸气速率测量精度达1 mL/s，吸气量测量精度达1 Pa·mL。