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| 微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状 | |
| 引用本文： | 周荣春,张海霞,郝一龙.微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 周荣春 张海霞 郝一龙 |
| 摘 要： | 随着MEMS技术的不断发展,微加工工艺的仿真和模拟越来越受到人们的关注.简要介绍了国外干法刻蚀工艺模拟工具的发展情况,主要包括美国的SPEEDIE、日本的MORDERN和DEER.最后简要介绍了国内开发的DROPIE模拟工具. |
| 关 键 词： | MEMS 干法刻蚀 模拟工具 |
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