| 基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法 |
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| 引用本文： | 吴立辉,张洁. 基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统建模方法[J]. 计算机集成制造系统, 2009, 15(10) |
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| 作者姓名： | 吴立辉 张洁 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,计算机集成制造研究所,上海,200240;上海交通大学,计算机集成制造研究所,上海,200240 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2007AA04Z109);;国家自然科学基金资助项目(50575137)~~ |
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| 摘 要： | 为了对大规模、复杂的晶圆制造系统进行有效建模,提出了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统分层建模方法。在设备层,对晶圆制造系统的系统资源、内部行为和知识进行封装,建立了设备层代理模型。在设备组层和系统层,根据系统需求对各设备组内部及其之间的关系进行配置,分别建立了设备层和系统层代理模型。该方法提高了模型的可配置和重用性,降低了建模的复杂性,同时将知识与模型的库所和变迁集成,增强了模型的运行决策能力。通过上海某企业的150 mm晶圆的生产数据验证,证明了基于多代理的知识有色赋时Petri网的晶圆制造系统模型的有效性。
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| 关 键 词： | 代理 晶圆制造系统 Petri网 建模 |
Modeling technology for semiconductor wafer fabrication system based on Agent-oriented knowledge colored timed Petri net |
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| WU Li-hui,ZHANG Jie. Modeling technology for semiconductor wafer fabrication system based on Agent-oriented knowledge colored timed Petri net[J]. Computer Integrated Manufacturing Systems, 2009, 15(10) |
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| Authors: | WU Li-hui ZHANG Jie |
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| Affiliation: | Institute of CIM;Shanghai Jiaotong University;Shanghai 200240;China |
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| Abstract: | For effective modeling of large-scale complex Semiconductor Wafer Fabrication System(SWFS),an Agent-Oriented Knowledge Colored Timed Petri Net(AOKCTPN) modeling approach was proposed.In machine Agent layer,system resources,internal behaviors and relevant knowledge were encapsulated to form the AOKCTPN-based machine Agent models.In machine group Agent layer and system Agent layer,the AOKCTPN-based models were configured according to the internal and external relationships among machine group Agents.Based on ... |
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| Keywords: | Agent semiconductor wafer fabrication system Petri net modeling |
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